“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

“启动二氧化碳脉冲激光器！”

话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现数以万计的紫色细长光线穿过一个又一个圆形长管最后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。

接下来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……

所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。

键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”

助手姑娘又没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！

盛明安：“各组报告结果。”

来了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”

二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”

四组报告……

随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

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（本章完）